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摘要：光刻机是探索微观世界的核心工具，具有极高的精度和复杂度。它通过一系列光学、机械和电子系统，将设计图案精细地刻在硅片上，为制造集成电路等关键领域提供了可能。光刻机的技术进步不断推动着微观制造领域的发展，是现代电子...
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